適用溫度ButtClamp晶圓化學分析化學成分連接形式連接形式雙盤雙閘門柔性盤式柔性閘門法蘭法蘭箍箍夾內螺紋內螺紋內膽護套護套主電源電源材料化學分析和機械性能材料化學成分和機械性能材料材料材料機械主要材料機械性能最大放電容量位移最高工作溫度最高允許溫度最高允許溫度允許壓力允許壓力型號型號名稱零件名稱氮氣（N）氮氣（N）氮氣公稱通孔公稱壓力公稱壓力噴嘴排氣口外螺紋外氧化劑氧化劑氧化劑活塞并聯還原劑Risingstem密封座密封座密封套規格壓力測試性能規格單盤單百葉窗強度測試壓力固體剛度測試壓力蒸汽，冷凝水，冷凝水沖程，沖程水，油，蒸汽水，溫度，氣體